理化科学实验中心新购的广州蔡司GeminiSEM 450场发射广州扫描电子显微镜已于近日安装完毕。本仪器配备Gemini2双聚光电子光管,可在近光高分辨率成像和远光分析模式之间无缝切换,为各种不同的应用提供全方位的适用性和灵活性。可观察物体的二次电子像和背散射电子像,可同时进行X射线能谱分析和背散射电子衍射分析。
1、固体材料表面形貌的观察
观察样品时不必喷金或少喷金。可广泛应用于表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检测、断裂分析、生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等失效分析等。
2.背散射电子图像(BSE)
背散射电子图像可以显示样品的原子序数或化学成分的差异,即样品的成分对比度。根据背散射电子图像的明暗,可以区分相应区域内原子序数的相对大小,可以分析陶瓷、金属或合金的微观结构。
3. X 射线能谱 (EDS)
配备Oxford Aztec系列X射线光谱仪,分析元素范围5B至92U,可对固体材料进行微区元素组成分析,适用于生物、医学、化学、化工、物理、金属科学和其他相关学科。物体微区域元素的定性和半定量分析。
4. 背散射电子衍射 (EBSD)
BSD可以测量晶体材料的晶体结构和取向,用于研究材料的微观结构和织构。它已成为材料研究中一种有效的分析方法。 EBSD技术目前的应用领域包括:工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——研究各种现象,如热机械处理过程、塑性变形过程以及与取向相关的性能(成形性、磁性能等) .)、界面特性(腐蚀、裂纹、热裂纹等)、相识别等。